[发明专利]一种多晶硅铸锭炉在审
申请号: | 201710167064.4 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN106835273A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 陈辉;李少捧;关树军;张立杰;周冰 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及多晶硅锭生产技术领域,公开了一种多晶硅铸锭炉,以改善铸锭炉内等温线分布,提高多晶硅铸锭的品质和效率,并降低能耗。该多晶硅铸锭炉,包括炉体、顶隔热层、底隔热层、侧隔热层、顶加热器、侧加热器,加热器移动装置和坩埚,其中,所述顶隔热层、底隔热层和侧隔热层拼装包覆于所述坩埚外侧,所述加热器移动装置与所述侧加热器电连接、且承载和带动所述侧加热器移动。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括炉体、顶隔热层、底隔热层、侧隔热层、顶加热器、侧加热器,加热器移动装置和坩埚,其中,所述顶隔热层、底隔热层和侧隔热层拼装包覆于所述坩埚外侧,所述加热器移动装置与所述侧加热器电连接、且承载和带动所述侧加热器移动。
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