[发明专利]一种半反半透型偏振分束光栅

摘要

本发明公开了一种半反半透型偏振分束光栅，该光栅的归一化周期Λ/λ与入射角θ满足如下关系，其中，θ为入射角，λ为波长，Λ为周期，n₁为基底材料折射率，n₂为空气折射率；该光栅的TE波能量分配在反射零级衍射级次上，TM波能量分配在透射零级衍射级次上，入射波由光密介质入射到光疏介质，即n₁>n₂，且透射+1级衍射处于倏逝临界位置，即θ_t,+1=90°；与现有的复杂制作工艺相比，半反半透型偏振分束光栅可以一次刻蚀制成，具有更好的光栅层稳定性；并且该光栅使TE波与TM波分量分别位于不同衍射级次，实现了高消光比的偏振光分束与极高的光能利用率。

主权项

1.一种半反半透型偏振分束光栅，其特征在于：该光栅的归一化周期Λ/λ与入射角θ满足如下关系，其中，θ为入射角，λ为波长，Λ为周期，n₁为基底材料折射率，n₂为空气折射率；该光栅的TE波能量分配在反射零级衍射级次上，TM波能量分配在透射零级衍射级次上，入射波由光密介质入射到光疏介质，即n1>n2，且透射+1级衍射处于倏逝临界位置，即θt,+1=90°；该光栅以硅为基底材料，当中红外波长λ为=3～5μm，入射角θ=22～26°范围时，周期Λ为=1.97～2.14μm，占空比f=0.60～0.62，蚀刻深度h=2.2～2.4μm。