[发明专利]涂布液回收装置及涂布系统有效
申请号: | 201710165484.9 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN106925492B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 井杨坤;丁甲 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10;B05C1/08 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种涂布液回收装置及涂布系统,属于涂布技术领域,其可解决现有的涂布工艺中的涂布液浪费的问题。本发明的涂布液回收装置,包括:第一回收容器、旋转单元、输送单元、脱泡单元;其中,所述第一回收容器设置在旋转组件上,用于回收涂布装置的液体回收槽的排液口所排出的涂布液;所述旋转单元,用于对所述第一回收容器中涂布液进行离心处理;所述输送单元连接在所述第一回收容器与所述脱泡单元之间,用于将离心处理后的涂布液输送至脱泡单元;所述脱泡单元,用于对输入至其中的涂布液进行脱泡处理,并将脱泡处理后的涂布液排出给涂布装置的喷头。 | ||
搜索关键词: | 涂布液 回收 装置 系统 | ||
【主权项】:
1.一种涂布液回收装置,其特征在于,包括:第一回收容器、旋转单元、输送单元、脱泡单元;其中,所述第一回收容器设置在旋转组件上,用于回收涂布装置的液体回收槽的排液口所排出的涂布液;所述旋转单元,用于对所述第一回收容器中涂布液进行离心处理;所述输送单元连接在所述第一回收容器与所述脱泡单元之间,用于将离心处理后的涂布液输送至脱泡单元;所述脱泡单元,用于对输入至其中的涂布液进行脱泡处理,并将脱泡处理后的涂布液排出给涂布装置的喷头;所述涂布液回收装置还包括:流量控制单元;所述流量控制单元与所述输送单元连接,用于控制所述输送单元输送涂布液至所述脱泡单元中的流速;所述流量控制单元包括:气体源和第一过滤器;其中,所述气体源的排气口连接所述第一过滤器的输入口,所述第一过滤器的输出口连接所述输送单元。
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