[发明专利]检测气路气密性的装置和方法在审
| 申请号： | 201710153030.X | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108627306A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 张微;朱振营 | 申请（专利权）人： | 深圳市理邦精密仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 518118 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测气路气密性的装置和方法，该装置包括顺序设置的脱水装置、气室和抽气泵，所述脱水装置设置有进气口，在所述气室和所述抽气泵之间的气路上安装有压力传感器，还包括控制系统，所述控制系统分别与所述压力传感器和所述抽气泵连接，以在所述进气口关闭时，通过所述抽气泵在多个运行状态下第一气路的多个压力值判断所述第一气路的气密性是否符合要求，所述第一气路为所述脱水装置与所述抽气泵之间的气路。本发明具有如下优点：可以随时对气路的气密性进行检测，并反馈检测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 抽气泵 气路 脱水装置 气密性 进气口 控制系统 气室 压力传感器 反馈检测 顺序设置 运行状态 传感器 检测气 有压力 种检测 路气 密性 检测 | ||
【主权项】：
1.一种检测气路气密性的装置，其特征在于，包括顺序设置的脱水装置、气室和抽气泵，所述脱水装置设置有进气口，在所述气室和所述抽气泵之间的气路上安装有压力传感器，还包括控制系统，所述控制系统分别与所述压力传感器和所述抽气泵连接，以在所述进气口关闭时，通过所述抽气泵在多个运行状态下第一气路的多个压力值判断所述第一气路的气密性是否符合要求，所述第一气路为所述脱水装置与所述抽气泵之间的气路。
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