[发明专利]一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了紫外探测器技术领域的一种铝镓氮基日盲紫外探测器，包括衬底，所述衬底的顶部设置有缓冲层，所述缓冲层的顶部设置有吸收层，所述吸收层的顶部设置有电极，所述衬底采用蓝宝石材料制成，该铝镓氮基日盲紫外探测器的制备方法包括以下步骤：S1：清洁衬底；S2：制备缓冲层；S3：制备吸收层；S4：冲洗；S5：制备沉积层；S6：蚀刻；S7：制备电极；S8：组合、安装，该发明提出的一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法，工艺流程简单，成本低廉，能够实现日盲探测。

主权项

1.一种铝镓氮基日盲紫外探测器，包括衬底(1)，其特征在于：所述衬底(1)的顶部设置有缓冲层(2)，所述缓冲层(2)的顶部设置有吸收层(3)，所述吸收层(3)的顶部设置有电极(4)。