[发明专利]蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法有效
| 申请号： | 201710148520.0 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107059126B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;于海群 | 申请（专利权）人： | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 015100 内蒙古自治区巴彦淖尔*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法，该装置包括晶体生长室和坩埚置换室，晶体生长室设置于坩埚置换室的顶部，晶体生长室的底部与坩埚置换室连通，晶体生长室与坩埚置换室相连通的区域设置有开合部件；坩埚置换室内部设置有冷却平台、换料平台、上下料平台以及坩埚运送组件；通过本申请实施例提供的蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法，可在坩埚置换室内，对装有退火后的高温晶体的坩埚与装有原料的坩埚进行置换，将装有原料的坩埚置换入长晶炉后直接升温、长晶；置换出的装有退火后的高温晶体的坩埚，可在坩埚置换室内自然冷却，缩短现有技术中，晶体自然冷却以及取坩埚所需要的时间，提升蓝宝石长晶炉的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 长晶炉 置换 坩埚 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置，其特征在于，所述装置包括：晶体生长室(100)和坩埚置换室(200)；所述晶体生长室(100)设置于所述坩埚置换室(200)的顶部；所述晶体生长室(100)的底部与所述坩埚置换室(200)连通，所述晶体生长室(100)与所述坩埚置换室(200)相连通的区域设置有开合部件(101)；所述坩埚置换室(200)内部设置有冷却平台(201)、换料平台(202)、上下料平台(205)以及坩埚运送组件；所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)在所述坩埚置换室(200)内部沿同一方向依次设置，所述上下料平台(205)位于所述晶体生长室(100)的底部，所述坩埚运送组件设置于所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)的一侧。
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