[发明专利]激光蚀刻设备及使用激光蚀刻设备进行激光蚀刻的方法有效

专利信息
申请号: 201710128531.2 申请日: 2017-03-06
公开(公告)号: CN107303628B 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 李东勋 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/70
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 刘灿强;董婷
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了激光蚀刻设备及使用激光蚀刻设备进行激光蚀刻的方法。所述激光蚀刻设备包括腔室、激光端口、激光发射器、颗粒捕捉器和旋转窗口模块。腔室被构造为容纳基底。激光端口在向下的方向上设置在腔室下面。激光发射器被构造为将激光通过激光端口发射到设置在腔室之内的基底。颗粒捕捉器设置在腔室之内并且包括设置在激光端口上方的主体。开口形成为穿过主体。开口被构造为使激光经由该开口穿过。旋转窗口模块包括旋转窗口和被构造为驱动旋转窗口的驱动部。旋转窗口设置在颗粒捕捉器与激光端口之间。
搜索关键词: 激光 蚀刻 设备 使用 进行 方法
【主权项】:
一种激光蚀刻设备,所述激光蚀刻设备包括:腔室,被构造为容纳基底;激光端口,在向下的方向上设置在所述腔室下面;激光发射器,被构造为将激光通过所述激光端口发射至设置在所述腔室之内的所述基底;颗粒捕捉器,设置在所述腔室之内,所述颗粒捕捉器包括设置在所述激光端口上方的主体,其中,开口形成为穿过所述主体并且所述开口被构造为使所述激光经由该开口穿过;以及旋转窗口模块,包括旋转窗口和被构造为驱动所述旋转窗口的驱动部,其中,所述旋转窗口设置在所述颗粒捕捉器与所述激光端口之间。
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  • 本实用新型公开了一种热成型钢板激光打刻装置,包括:支架组件、机械浮动机构、激光打刻头光学系统,支架组件包括第一支架、第二支架,第二支架的一侧与第一支架的一侧固定连接,机械浮动机构包括双向浮动弹性元件、连接块、导轴,导轴置于第二支架的内腔,导轴的一端与第二支架的上端内壁固定连接,导轴的另一端与第二支架的下端内壁固定连接,双向浮动弹性元件与导轴滑动连接,连接块的上下两端均放置有双向浮动弹性元件,激光打刻光学系统安装于第一支架,激光打刻头光学系统包括光格、扩束镜、振镜,所述扩束镜位于光格与振镜之间。本实用新型解决了定期需要调整场镜焦距、打刻头浮动卡滞以至于VIN字符之间的宽度或者深度不一致的技术问题。
  • 一种打标装置-202320578253.1
  • 谢礼有;刘国辉 - 深圳市金亿莱科技有限公司
  • 2023-03-22 - 2023-10-24 - B23K26/362
  • 本实用新型提供了一种打标装置,包括机架,所述机架上设置有打标单元和传输单元,所述传输单元包括放置座,所述放置座两侧分别设置有多个打标工位,用于同时对多个待打标数据线传输,所述打标单元设置有至少两组,两组所述打标单元分别用于对所述放置座两侧的所述待打标数据线进行打标。本实用新型通过单个传输单元对放置座上的两组数据线进行传输,两组打标单元对两组数据线进行不同内容的打标工作,既达到两个激光打标的任务,且打标内容互不干涉,占地面积不变,提高了整线的生产效率,节省了一定的占地空间。
  • 激光刻蚀设备-202321273279.1
  • 杨建;王雪戈;冯治华;李明 - 极电光能有限公司
  • 2023-05-24 - 2023-10-24 - B23K26/362
  • 本实用新型公开了一种激光刻蚀设备。设备包括上扫描腔和刻划腔,上扫描腔的上端设有第一扫描装置,上扫描腔下端设有第一真空吸附平台,第一真空吸附平台上设有第一吸附孔;刻划腔的一端连通上扫描腔的一端,刻划腔的上端设有激光装置,刻划腔的下端设有第二真空吸附平台,第二真空吸附平台上设有第二吸附孔;上扫描腔和刻划腔的下端设有可以上下移动的传输带。该设备可以提高芯片刻线的准确性,在刻线前,通过扫描确保上工序刻线和本工序刻线始终保持预定距离,提高芯片转化率。
  • 一种用于固体制剂包装袋的激光打码机-202321300087.5
  • 白佳康 - 深圳市康信营养科技有限公司
  • 2023-05-26 - 2023-10-24 - B23K26/362
  • 本实用新型公开了一种用于固体制剂包装袋的激光打码机,涉及激光打码机领域。包括输送带,输送带上方设有定位支架,定位支架中间位置固定安装有激光打码器,定位支架上位于激光打码器两侧开设有进出豁口,定位支架上安装有驱动机构,驱动机构包括伺服电推杆、定位框架、第一支脚、连接槽和第二支脚,伺服电推杆固定安装于定位支架上的进出豁口处,伺服电推杆的输出末端设有第二支脚,第二支脚上开设有连接槽,第二支脚上固定安装有定位框架,定位框架上固定安装有第一支脚,第一支脚上连接有抚平机构。定位框架向下运动之后活动支架就会展开,活动支架展开过程中抚平辊向沿包装袋表面向两侧运动,从而将包装袋表面的褶皱抚平。
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