[发明专利]一种使用无隔膜型激波管的超高温分子束源

摘要

本发明涉及高能量分子束流产生技术领域，一种使用无隔膜型激波管的超高温分子束源主要包括由分流器I和分流器II相间隔为真空室I和真空室II和真空室III而组成的真空腔、驱动气体进口、主阀、高压室、低压室、束流出口I、分流器I、斩波器、束流出口II、分流器II、供气阀、排气阀，由所述驱动气体进口、主阀、高压室、低压室、束流出口I依次连接组成的激波管位于所述真空室I，所述斩波器位于所述真空室II，所述分流器I和所述分流器II中间均开有小孔。本发明激波加热时间短，喷嘴温度不会上升很快，克服了喷嘴温度对材料的限制，能产生具有更高平移动能的分子束；无隔膜型激波管不用像现有隔膜型激波管那样需要频繁更换隔膜，节省成本及时间。

主权项

一种使用无隔膜型激波管的超高温分子束源，主要包括由分流器I(7)和分流器II(13)相间隔为真空室I(16)和真空室II(15)和真空室III(14)而组成的真空腔(1)、驱动气体进口(2)、主阀(3)、高压室(4)、低压室(5)、束流出口I(6)、分流器I(7)、排气口I(8)、排气口II(9)、排气口III(10)、斩波器(11)、束流出口II(12)、分流器II(13)、供气阀(17)、供气入口(18)、排气口IV(19)、排气阀(20)，所述排气阀(20)连接所述低压室(5)、且其排气口IV(19)位于所述真空室I(16)外，所述供气阀(17)连接所述低压室(5)、且其供气入口(18)位于所述真空室I(16)外，所述斩波器(11)位于所述真空室II(15)内，所述排气口I(8)、排气口II(9)、排气口III(10)外分别连接不同抽速的分子泵并分别对所述真空室I(16)、真空室II(15)、真空室III(14)抽真空，其特征是：由所述驱动气体进口(2)、主阀(3)、高压室(4)、低压室(5)、束流出口I(6)依次连接组成激波管，所述激波管位于所述真空室I(16)，所述分流器I(7)和所述分流器II(13)中间均开有小孔。