[发明专利]利用SDBD和发射光谱检测OH浓度的实验装置及方法

摘要

一种利用SDBD和发射光谱检测OH浓度的实验装置及方法,属于等离子技术领域。主要由环形线‑线式SDBD发生器(1)，电源系统(2)，供气系统(3)，紫外光源系统(4)，和发射光谱诊断系统(5)组成。由纳秒脉冲电源激励产生沿面介质阻挡放电等离子体，利用紫外光源和发射光谱技术，检测等离子体中OH自由基绝对浓度的。在检测OH绝对浓度时，首先检测仅紫外光的发射光谱，再检测紫外光通过放电等离子体区域后的发射光谱，最终计算得到OH自由基的绝对浓度。本发明可以解决传统技术检测活性物种绝对浓度时，操作复杂、设备昂贵等缺点。

主权项

1.利用SDBD和发射光谱检测OH浓度的实验装置，主要由环形线式SDBD发生器(1)，电源系统(2)，供气系统(3)，紫外光源系统(4)，和发射光谱诊断系统(5)组成；放电等离子体由电源系统(2)激励，在环形线式SDBD发生器(1)中产生，由供气系统(3)提供放电的气体氛围并保持一定的气体组分和流速，由紫外光源系统(4)提供光源，发射光谱诊断系统(5)进行在线光学诊断；其特征在于环形线式SDBD发生器(1)由线型高压电极(101)，管式地电极(102)，石英介质管(103)，和具支管(104)组成；线型高压电极(101)为金属圆柱体，长度小于石英介质管(103)；石英介质管(103)一端敞开，另一端为封闭且带有一个支出的具支管(104)；石英介质管(103)外侧表面开有一轴向半圆形凹槽，其直径与线型高压电极(101)的直径一致，线型高压电极(101)固定于凹槽中；管式地电极(102)长度与线型高压电极(101)一致，外径与石英介质管(103)内径一致，与线型高压电极(101)相对固定在石英介质管(103)的内部；管式地电极(102)与线型高压电极(101)相对的侧面有一个深入内腔的轴向缺口，缺口两端间距与线型高压电极(101)的直径一致；环形线式SDBD发生器(1)的线型高压电极(101)与电源系统(2)相连，管式地电极(102)接地，供气系统(3)通过石英介质管(103)的具支管提供气体氛围；放电在管式地电极(102)的轴向缺口之间，沿石英介质管(103)的内表面发生。