[发明专利]振动位移测定装置及振动位移测定方法有效
| 申请号： | 201710121112.6 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN107152913B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 古川靖 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 振动位移测定装置具有：光源部，其输出以使被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光；分支部，其将连续光分支为第1分支光和第2分支光；受光部，其对在被测定对象处被反射的第1分支光和第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号；以及运算部，其使用电气信号，求出被测定对象的振动或者位移。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 位移 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种振动位移测定装置，其以非接触方式对被测定对象的振动或者位移进行测定，该振动位移测定装置具有：光源部，其输出以使所述被测定对象的测定部位配置于相关峰内的方式进行了频率调制的连续光；分支部，其将所述连续光分支为第1分支光和第2分支光；受光部，其对在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号；以及运算部，其使用所述电气信号，求出所述被测定对象的振动或者位移。
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