[发明专利]一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈在审

专利信息
申请号: 201710104246.7 申请日: 2017-02-24
公开(公告)号: CN106817834A 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 陈海群;朱兴营;陈连忠;董永晖;刘祥;刘金涛;周法;林国胜 申请(专利权)人: 中国航天空气动力技术研究院
主分类号: H05H1/28 分类号: H05H1/28
代理公司: 中国航天科技专利中心11009 代理人: 庞静
地址: 100074 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈,包括电感线圈、陶瓷固化套、内循环冷却水通道和外循环冷却水通道。通过在电感线圈外部浇筑陶瓷形成陶瓷固化套,螺旋线圈与陶瓷固化套同轴布置;线圈内循环冷却水通道通过电感线圈薄壁特征实现,外循环冷却水通道在陶瓷固化套内壁和石英管外壁间形成,以此实现对电感线圈内部和外部双水冷以及对高频感应等离子发生器外石英管进行冷却。一种双水冷电感线圈应用于高频感应等离子发生器,提高了电感线圈和石英管的安全性,提高了发生器的可靠性。
搜索关键词: 一种 高频 感应 等离子 发生器 水冷 电感线圈
【主权项】:
一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈,其特征在于,包括电感线圈(1)、陶瓷固化套(2)、内循环冷却水通道(4)和外循环冷却水通道(3);在电感线圈(1)螺旋部分外部浇筑陶瓷形成陶瓷固化套(2),陶瓷固化套(2)为中空结构且与电感线圈同轴布置;石英管布置在陶瓷固化套(2)空腔内,通过石英管外壁与陶瓷固化套(2)内壁间形成外循环冷却水通道(3),整个电感线圈(1)为中空结构,其中心通道为内循环冷却水通道(4),内冷却水通过内循环冷却水通道(4)在电感线圈(1)内部对线圈进行换热冷却,外循环冷却水通道(3)内的外冷却水通过陶瓷固化套(2)的导热作用对电感线圈(1)外部进行冷却。
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