[发明专利]一种应用于高频感应等离子发生器起弧系统及起弧方法有效

专利信息
申请号: 201710104232.5 申请日: 2017-02-24
公开(公告)号: CN106714440B 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 陈海群;林国胜;郑鲁平;陈连忠;董永晖;杨忠凯;程奂哲;闫宪翔 申请(专利权)人: 中国航天空气动力技术研究院
主分类号: H05H1/50 分类号: H05H1/50
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 庞静
地址: 100074 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种应用于高频感应等离子发生器起弧系统及起弧方法,所述的系统包括真空机组(1)、电源系统(3)、阀门Ⅰ(5)、阀门Ⅱ(6);试验段(2)与等离子发生器(4)连接并密封,电源系统(3)与高频感应等离子发生器(4)的线圈连接;真空机组(1)通过扩压段与试验段(2)连接,用于试验段内腔体及等离子发生器内腔体抽真空,使真空度达到300Pa以下;易电离气体、空气分别通过阀门Ⅰ(5)、阀门Ⅱ(6)连接至等离子发生器的内腔,电源系统(3)对线圈提供400kHz以上的交变电流。本发明主要应用于高频感应等离子发生器的起弧,实现高频感应等离子风洞起弧,高频感应等离子各功率型号的起弧,以及各种高频感应等离子试验的起弧要求。
搜索关键词: 一种 应用于 高频 感应 等离子 发生器 系统 方法
【主权项】:
一种应用于高频感应等离子发生器起弧系统,其特征在于:包括真空机组(1)、电源系统(3)、阀门Ⅰ(5)、阀门Ⅱ(6);试验段(2)与等离子发生器(4)连接并密封,电源系统(3)与高频感应等离子发生器(4)的线圈连接;真空机组(1)通过扩压段与试验段(2)连接,用于试验段内腔体及等离子发生器内腔体抽真空,使真空度达到300Pa以下;易电离气体、空气分别通过阀门Ⅰ(5)、阀门Ⅱ(6)连接至等离子发生器的内腔,电源系统(3)对线圈提供400kHz以上的交变电流。
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