[发明专利]用于在未支撑层中烧蚀开口的方法有效
| 申请号： | 201710086085.3 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN107127462B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | R·卡德纳斯;J·R·安德鲁斯 | 申请（专利权）人： | 施乐公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张华 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在聚合物层中形成开口的方法，其包括：将材料层定位在空腔上方，使得所述第一材料的一部分位于空腔上方；以第一形状烧蚀所述材料的所述部分；以及以第二形状烧蚀所述材料的所述部分，其中所述第二形状位于所述第一形状内。一种在聚合物层中形成开口的方法包括：将第一材料层定位在具有空腔的第二材料上方，使得所述第一材料的一部分位于所述空腔上方；以第一形状烧蚀在所述空腔上方的所述第一材料的部分；以及以第二形状烧蚀在所述空腔上方的所述第二材料的部分，其中所述第二形状位于所述第一形状内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 层中烧蚀 开口 方法 | ||
【主权项】：
一种在聚合物层中形成开口的方法，包括：将材料层定位在空腔上方，使得所述第一材料的一部分位于空腔上方；以第一形状烧蚀所述材料的所述部分；以及以第二形状烧蚀所述材料的所述部分，其中所述第二形状位于所述第一形状内。
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