[发明专利]一种LPCVD系统冷阱装置

摘要

本发明公开了一种LPCVD系统冷阱装置，包括套筒法兰组件和盘管法兰组件，套筒法兰组件包括筒体、设于筒体一端的出气口、设于筒体一侧的进气口以及轴向设于筒体内且一端与出气口相连通的导流管，盘管法兰组件包括法兰盘、设于法兰盘上的冷却水进、出口、分别与冷却水进、出口相连通的冷却水盘管，法兰盘与筒体另一端相对接密封，导流管另一端套设于冷却水盘管上。本装置结构简单、冷却快速高效，在LPCVD系统反应室内反应产生的可凝华气态副产物进入冷阱，气流通过导流管时与冷却水盘管和散热片进行充分热交换，气体因为温度急速降低凝华成固体，冷阱装置可拆卸后进行清理，既保证了真空管道不被堵塞，同时也避免了气体在真空泵内凝华导致真空泵卡死。

主权项

1.一种LPCVD系统冷阱装置，包括套筒法兰组件和盘管法兰组件，套筒法兰组件包括筒体、设于筒体一端的出气口、设于筒体一侧的进气口，盘管法兰组件包括法兰盘，设于法兰盘上的冷却水进、出口，其特征在于：所述套筒法兰组件还包括轴向设于筒体内且一端与出气口相连通的导流管，所述盘管法兰组件还包括分别与冷却水进、出口相连通的冷却水盘管，法兰盘与筒体另一端相对接密封，所述导流管套设于所述冷却水盘管上；所述冷却水进口连通有一沿冷却水盘管整体轴向设置的进水管，冷却水进口通过进水管另一端与冷却水盘管相连通；所述冷却水盘管与进水管之间还设有冷凝机构；所述冷凝机构包括依次排列的数层漏斗状冷凝片。