[发明专利]光谱共焦传感器有效
申请号: | 201710064423.3 | 申请日: | 2017-02-04 |
公开(公告)号: | CN107044822B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 益田纪彦;久保光司 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/06 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。光谱共焦传感器包括第一光源,用于射出包括具有不同波长的多个光束的测量光;第二光源,用于射出具有预定波长的可见光束;光学头,其使入射光会聚在与所述入射光的波长相对应的焦点位置处,并且输出在所述焦点位置处由测量对象反射的反射光;位置计算部,用于基于所述光学头所输出的反射光来计算所述测量对象的位置;以及切换部,用于选择性地在仅所述测量光进入所述光学头的第一操作和至少所述可见光束进入所述光学头的第二操作之间进行切换。 | ||
搜索关键词: | 光谱 传感器 | ||
【主权项】:
一种光谱共焦传感器,包括:第一光源,用于射出包括具有不同波长的多个光束的测量光;第二光源,用于射出具有预定波长的可见光束;光学头,用于使入射光会聚在与所述入射光的波长相对应的焦点位置处,并且输出在所述焦点位置处被测量对象反射所得到的反射光;位置计算部,用于基于所述光学头所输出的所述反射光来计算所述测量对象的位置;以及切换部,用于选择性地在仅所述测量光进入所述光学头的第一操作和至少所述可见光束进入所述光学头的第二操作之间进行切换。
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