[发明专利]旋转喷淋头及湿法蚀刻机

摘要

本发明提供了一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体，所述喷淋头本体包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管，N≥3的正整数，喷淋管相对的一端相互连接并连通，旋转接头与喷淋管的连接处连接，在喷淋管的下端面上设有间距可调节的喷嘴，喷嘴与喷淋管的管腔13连通。本发明还提供了一种湿法蚀刻机，包括所述的旋转喷淋头。本发明与现有技术相比，通过具有三根以上喷淋管组成的喷淋头本体，在喷淋管上设置可调节间距的喷嘴，解决了喷淋不均匀的问题导致的蚀刻过程中较易产生蚀刻不均或色泽不均(Mura)等问题，减少了喷淋管的数量，使用料成本得以降低。

主权项

一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体(1)，其特征在于：所述喷淋头本体(1)包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管(2)，N≥3的正整数，喷淋管(2)相对的一端相互连接并连通，旋转接头与喷淋管(2)的连接处连接，在喷淋管(2)的下端面上设有间距可调节的喷嘴(3)，喷嘴(3)与喷淋管(2)的管腔13连通。