[发明专利]一种椭球反射镜面形检测装置和方法

摘要

本发明椭球反射镜面形检测装置和方法属于精密光学测量领域；该装置沿光轴方向依次设置面形检测干涉仪、聚焦透镜、椭球反射镜和面形参考球；其中，聚焦透镜的焦点和椭球反射镜的第一焦点重合，面形参考球的球心和椭球反射镜的第二焦点重合；面形检测干涉仪发出平行光束，依次经过聚焦透镜后会聚、椭球反射镜第一次反射、面形参考球反射、椭球反射镜第二次反射和聚焦透镜折射，最后入射到集成在面形检测干涉仪中的图像传感器上；该方法首先放置面形参考球，然后确定面形参考球的径向位置，再确定面形参考球的轴向位置，最后计算椭球反射镜的面形误差；本发明能够实现在不接触椭球反射镜条件下，完成对椭球反射镜直接、高灵敏度、大动态范围的测量。

主权项

一种椭球反射镜面形检测装置，其特征在于，沿光轴方向依次设置面形检测干涉仪(1)、聚焦透镜(2)、椭球反射镜(3)和面形参考球(4)；其中，聚焦透镜(2)的焦点和椭球反射镜(3)的第一焦点重合，面形参考球(4)的球心和椭球反射镜(3)的第二焦点重合；面形检测干涉仪(1)发出平行光束，经过聚焦透镜(2)后会聚到椭球反射镜(3)的第一焦点，形成点光源，再经过椭球反射镜(3)反射，照射到面形参考球(4)上，从面形参考球(4)表面反射的光束，再依次经过椭球反射镜(3)反射和聚焦透镜(2)折射，最后入射到集成在面形检测干涉仪(1)中的图像传感器上。