[发明专利]竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副

摘要

本发明公开了一种竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副，包括正六棱柱状的导向基体、能够沿导向基体滑动的溜板体以及安装在导向基体与溜板体之间的第一直线电机和第二直线电机，溜板体内壁截面为六边形的溜板体，以六边形截面方枕作为导向基体；此种六边形的气体静压导轨副采用四面作为支承面，实现支承面的对称布置，可以实现较高的运动直线度和结构刚性以及较高的运动定位和重复精度，并最小化温度波动所造成的变形；采用其中的四个面作为气体静压支承面，另外两个对称的侧壁面分别安装直线电机，实现导轨副支承和驱动的对称布局；采用多孔质节流器保证导轨副的支承刚性，该结构具有精度高、对称性好的特点，尤其适用于竖直方向的使用情况。

主权项

一种竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副，其特征在于，包括正六棱柱状的导向基体、能够沿所述的导向基体滑动的溜板体以及安装在所述的导向基体与所述的溜板体之间的第一直线电机和第二直线电机，所述的溜板体包括通过螺钉相连接安装的第一子溜板体和第二子溜板体，所述的第一子溜板体具有第一侧壁、第二侧壁和第三侧壁，所述的第一侧壁上具有三个第一凹槽，所述的第三侧壁上具有三个第三凹槽，所述的第一直线电机的定子通过第一过渡板安装在所述的第二侧壁上；所述的第二子溜板体具有第四侧壁、第五侧壁和第六侧壁，所述的第四侧壁上具有三个第四凹槽，所述的第六侧壁上具有三个第六凹槽，所述的第二直线电机的定子通过第二过渡板安装在所述的第五侧壁上；所述的第一凹槽、所述的第三凹槽、所述的第四凹槽、所述的第六凹槽内均固定设置有多孔质陶瓷材料块，所述的第一子溜板体与所述的第二子溜板体周向抱合在所述的导向基体的外壁上，所述的第一直线电机的动子与所述的第二直线电机的动子沿所述的导向基体的长度方向安装在相对的侧壁上，所述的第一子溜板体的端面上设置有第一气管接头和第三气管接头，所述的第一子溜板体内开设有使所述的第一气管接头与各个所述的第一凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第一通道，所述的第一子溜板体内开设有使所述的第三气管接头与各个所述的第三凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第三通道，所述的第二子溜板体的端面上设置有第四气管接头和第六气管接头，所述的第二子溜板体内开设有使所述的第四气管接头与各个所述的第四凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第四通道，所述的第二子溜板体内开设有使所述的第六气管接头与各个所述的第六凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第六通道。