[发明专利]一种特殊角度硅靶材的生产方法在审
| 申请号： | 201710004418.3 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN106736884A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张磊;陈良杰;张晓峰;顾正;郭校亮 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 山东省青岛市即墨市蓝色硅谷核心*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅靶材生产技术领域，特别涉及一种特殊角度硅靶材的生产方法。该方法将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工。本发明产品精度由±0.3mm提高到±0.1mm；粗糙度由Ra>3.2提高到<1.6；综合成本降低30％以上，有效避免多工序加工导致的崩边崩角硅片出成率可到90％以上；生产角度由单一45度，增加到0—60度，极大的延伸了异性靶材特殊角度加工范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 特殊 角度 硅靶材 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种特殊角度硅靶材的生产方法，其特征是：将靶材利用精密口钳进行装夹，用正弦吸盘装夹成所需角度，应用于平面加工进行加工的生产方式。
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