[发明专利]VPSA大气量离心真空泵

摘要

本发明涉及一种VPSA大气量离心真空泵，各级采用后弯式三元叶轮及无叶扩压器，每两段中间设置一个冷却器，最后一段出口设置一个冷却器，共三个冷却器。每段设有进气室和排气蜗室，共三个进气室，三个排气蜗室。进气室为双支撑径向吸气室，排气蜗室为圆形对称蜗室；工作时，气体由吸入室吸入，随第一级叶轮一起高速旋转，在离心力的作用下，其动能和静压能升高，经叶片间流道沿半径方向甩出，进入流道面积逐渐增大的第一级扩压器，气体的动能降低转化为静压能，使气体的压力得到提高，然后经过第一级弯道和回流器进入第二级继续压缩。依次循环压缩，在完成最后一级压缩后，气体由蜗壳收集从排气管道排出。随着抽气过程的不断进行，质量流量不断减小，进口压力不断降低，真空度不断提高，直到下一个循环周期，机组处于不断变工况运行过程中。

主权项

VPSA大气量离心真空泵，包括多级依次串接的真空泵单元，其特征在于，所述各真空泵单元包括壳体、转轴和叶轮，壳体内包括两级腔室，各级腔室内分别安装有叶轮，叶轮内设有L状轴向进气径向出气的过气通道，各叶轮固定串接于转轴；所述第一级腔室的前段为进气室，第一级腔室内叶轮的进气口联通进气室，叶轮的出气口外侧对称设有一对第一级扩压器，第一级扩压器经U型的弯道连接对称设置的回流器的入口，回流器的出口联通第二级腔室叶轮的进风口，第二级腔室叶轮的出风口外侧对称设置有一对圆形蜗室，所述圆形蜗室联通下级真空泵单元的进气室。