[发明专利]一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法

摘要

本发明涉及一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，它采用从物理版图中提取物理和几何参数并自动创建参数化变量和三维电磁场参数化仿真模型，并经过仿真优化后自动完善物理版图设计的完整方法，极大的简化了建模和仿真流程，提高了建模和仿真的速度，由此缩短了整个版图设计和仿真分析流程的时间。鉴于以上理由，本发明可以广泛用于三维电磁场技术领域。

主权项

1.一种三维电磁场参数化仿真模型的创建方法，它包括以下步骤：1)在物理版图中，根据工艺特点和设计需求提取需要参数化的物理和几何参数，并针对需要参数化的物理和几何参数进行各自对应的取值；2)新建三维电磁场仿真模型，并在新建三维电磁场仿真模型中根据需要参数化的物理和几何参数及各自对应的取值创建参数化变量表；3)在新建三维电磁场仿真模型中，采用参数化变量表创建三维电磁场参数化仿真模型；4)在新建三维电磁场仿真模型中，针对三维电磁场参数化仿真模型中每一组参数化变量的取值状态创建一个参数扫描方案，并且设置三维电磁场参数化仿真模型的优化目标值和优化方法；5)在新建三维电磁场仿真模型中，采用优化方法针对三维电磁场仿真模型中的所有参数扫描方案进行优化仿真，得到每一个参数扫描方案对应的仿真结果，并从仿真结果中根据优化目标值确认最优参数扫描方案；6)在物理版图中，根据最优参数扫描方案中的参数化变量的值修改物理和几何参数，从而优化物理版图。