[发明专利]复合结构及相关制造方法在审
| 申请号： | 201680065643.1 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN108271425A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 帕斯卡·昆纳德;I·拉杜;迪迪埃·朗德吕;E·德斯邦内特斯 | 申请（专利权）人： | 索泰克公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/312;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;张培源 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包括异质结构(5)的用于声波装置的复合结构(9)，其包括：具有第一面和第二面的压电材料的有用层(2)，第一面布置在支撑基材(1)上的第一结合界面处，所述支撑基材(1)具有比有用层(2)的热膨胀系数低的热膨胀系数，复合结构(9)的特征在于，其包括功能层(6)，所述功能层(6)的整个表面布置在有用层(2)的第二面上的第二结合界面处并且具有比有用层(2)的热膨胀系数低的热膨胀系数。本发明还涉及用于制造复合结构(9)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 热膨胀系数 复合结构 结合界面 支撑基材 功能层 声波装置 压电材料 异质结构 整个表面 制造 | ||
【主权项】：
1.一种包括异质结构(5)的用于声波装置的复合结构(9)，异质结构(5)包括：具有第一面(3)和第二面(4)的压电材料的有用层(2)，第一面(3)布置在支撑基材(1)上的第一结合界面处，所述支撑基材(1)具有比有用层(2)的热膨胀系数低的热膨胀系数，复合结构(9)的特征在于，其包括功能层(2)，所述功能层(2)的整个表面布置在有用层(2)的第二面(4)上的第二结合界面处并且具有比有用层(2)的热膨胀系数低的热膨胀系数。
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