[发明专利]基板处理系统

摘要

本发明提供一种能够抑制基板的污染且布局的自由度较高的基板处理系统。本发明的FOUP搬送部300是由能够调整长度的轨道32及能够自行推进的FOUP保持部30构成。因此，可通过单位轨道320的装卸及基板处理装置20的追加、去除这样的容易的作业而进行基板处理系统1的扩张或缩小(基板处理装置20的追加或去除)。又，FOUP搬送部300将收纳有基板的FOU P80搬送至各基板处理装置20。因此，基板暴露于FOUP80外部的环境气体的时间较短，从而可有效地抑制对基板的污染。

主权项

一种基板处理系统，其是从收纳有基板的容纳架取出基板并进行处理的基板处理系统，其特征在于，具备：第1交接部，在该基板处理系统与所述基板处理系统的外部之间交接上述容纳架，基板处理装置组，多个基板处理装置排列成一列，且在多个所述基板处理装置的排列方向上，在多个所述基板处理装置的一侧邻接配置所述第1交接部，以及容纳架搬送部，沿着所述第1交接部及所述基板处理装置组的排列方向双向搬送所述容纳架；构成所述基板处理装置组的各所述基板处理装置具有：第2交接部，在基板处理装置与所述容纳架搬送部之间交接所述容纳架，多个处理部，对所述基板执行处理，以及至少一个基板搬送部，在配置于所述第2交接部的所述容纳架与所述多个处理部之间搬送所述基板。