[发明专利]以两个旋转自由度旋转反射镜元件的装置有效
| 申请号： | 201680016350.4 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN107430267B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | M.豪夫;Y.萨罗夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B19/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种位移装置(31)，用于以两个转动自由度来转动反射镜元件(20)，包括具有致动器电极(37 |
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| 搜索关键词： | 两个 旋转 自由度 反射 元件 装置 | ||
【主权项】：
一种传感器装置，用于直接捕获具有两个枢转自由度的反射镜元件(20)的枢转位置，所述传感器装置包括：1.1至少一个传感器电极结构，包括：1.1.1具有梳状结构的发射器电极(47)，以及1.1.2具有梳状结构的接收器电极(48)，1.2用于向所述发射器电极(47)施加AC电压的电压源(58)，1.3以及用于从所述传感器电极(47)的可变地屏蔽所述接收器电极(48)的屏蔽单元(45)，1.4其中全部发射器电极(47)和全部接收器电极(48)被布置在共同平面中。
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