[实用新型]铸造多晶硅用设观察孔的热场控制装置有效
申请号: | 201621350306.0 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN206337325U | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 马标;张立新 | 申请(专利权)人: | 浙江绿谷光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人: | 尉伟敏,郑阳政 |
地址: | 323000 浙江省丽*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅生产技术领域。一种铸造多晶硅用设观察孔的热场控制装置,包括炉体,所述炉体的顶部和侧壁都设有加热机构,所述炉体内设有坩埚,所述炉体依次设有加热区、梯度区和冷却区,其特征在于,还包括驱动坩埚升降的坩埚升降机构,所述坩埚的底壁内表面设有黑色氮化硅粉层和铺设在黑色氮化硅粉层上的多晶硅层,所述加热区、梯度区和冷却区从上向下依次分布,所述竖炉还设有电梯井,所述电梯井还设有从上向下分布的用于观察炉体内部的观察孔,所述电梯井中安装有升降式电梯。本实用新型提供了一种铸造多晶硅用设观察孔的热场控制装置,以提高整锭硅片的效率。 | ||
搜索关键词: | 铸造 多晶 硅用设 观察 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种铸造多晶硅用设观察孔的热场控制装置,包括炉体,所述炉体的顶部和侧壁都设有加热机构,所述炉体内设有坩埚,所述炉体依次设有加热区、梯度区和冷却区,其特征在于,还包括驱动坩埚升降的坩埚升降机构,所述坩埚的底壁内表面设有黑色氮化硅粉层和铺设在黑色氮化硅粉层上的多晶硅层,所述加热区、梯度区和冷却区从上向下依次分布,所述炉体还设有电梯井,所述电梯井还设有从上向下分布的用于观察炉体内部的观察孔,所述电梯井中安装有升降式电梯。
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