[实用新型]一种清洗机及FOUP清洗机有效
| 申请号： | 201621154598.0 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN206184856U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 吴良辉;张静平 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立,陈振玉 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗机及FOUP清洗机，包括容器，所述容器的顶部内侧通过轴承悬挂设置有置物架，所述置物架的底部设置有磁悬浮定子，所述容器外部设置有与所述磁悬浮定子相匹配的磁悬浮转子，所述磁悬浮转子与电机连接；所述容器还连接有清洗进水管、浸泡进水管和排水管，所述清洗进水管伸入所述容器内，且其端部设置有喷嘴。清洗过程中，电机驱动磁悬浮转子转动，转动的磁悬浮转子驱动磁悬浮定子转动，转动的磁悬浮定子带动置物架旋转，实现旋转清洗，且容器底部无需打通安装旋转电机，能实现溶液的长时间存储。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 foup | ||
【主权项】：
一种清洗机，其特征在于，包括容器(1)，所述容器(1)的顶部内侧通过轴承(2)悬挂设置有置物架(3)，所述置物架(3)的底部设置有磁悬浮定子(4)，所述容器(1)外部设置有与所述磁悬浮定子(4)相匹配的磁悬浮转子(5),所述磁悬浮转子(5)与电机(6)连接；所述容器(1)还连接有清洗进水管(7)、浸泡进水管(8)和排水管(9)，所述清洗进水管(7)伸入所述容器(1)内，且其端部设置有喷嘴(10)。
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