[实用新型]基于石墨烯纳米墙/硅的室温红外探测器

摘要

本实用新型公开了一种基于石墨烯纳米墙/硅的室温红外探测器，所述探测器由下至上依次包括液态镓铟合金电极层、N型硅片层、二氧化硅层、石墨烯纳米墙电极层，所述石墨烯纳米墙与N型硅片层之间至少有一处接触，接触处即为探测器的有源区域。本实用新型公开的基于石墨烯纳米墙/硅的室温红外探测器结合了石墨烯纳米墙的高导电、低电阻率等优良性质，所述探测器主要利用了石墨烯纳米墙层对红外光进行吸收，石墨烯纳米墙层可以在室温下对紫外‑可见‑近、中、远红外光进行宽波段的吸收，石墨烯纳米墙层对近中远红外波段的光吸收后，产生电子‑空穴对，形成空间电场区，从而实现了红外探测器在室温下对红外光的探测。

主权项

一种基于石墨烯纳米墙/硅的室温红外探测器，其特征在于，由下至上依次包括液态镓铟合金电极层、N型硅片层、二氧化硅层、石墨烯纳米墙电极层，所述石墨烯纳米墙与N型硅片层之间至少有一处接触，接触处即为探测器的有源区域，所述N型硅片层厚度为10‑500μm，二氧化硅层厚度为100‑500nm，石墨烯纳米墙电极层厚度为100nm‑10μm。