[实用新型]一种基板承载装置及高温炉设备有效
| 申请号： | 201620916577.1 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN205900520U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡灿 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基板承载装置，包括支撑支架，支撑滚珠以及间隙滚珠，所述支撑支架的顶部形成与支撑滚珠配合的滚珠托盘，间隙滚珠设置于滚珠托盘内支撑所述支撑滚珠，所述支撑滚珠的顶部进行支撑；本实用新型还提供了一种高温炉设备，用于对基板进行加热，包括上述的基板承载装置。本实用新型提供的基板承载装置，不仅满足了其与基板进行小面积接触的需求，而且有效地避免了其与基板进行滑动摩擦而产生划痕，保证了基板的安全性；本实用新型提供的高温炉设备，在保证基板正反两面受热均匀的同时，还改善了基板在加热时被划伤的状况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 高温 设备 | ||
【主权项】：
一种基板承载装置，其特征在于，包括支撑支架，支撑滚珠以及间隙滚珠，所述支撑支架的顶部形成滚珠托盘，所述滚珠托盘开设有凹槽，所述支撑滚珠与间隙滚珠收容于所述凹槽内，所述间隙滚珠设置于滚珠托盘内用以支撑所述支撑滚珠，所述支撑滚珠的顶部用以支撑基板。
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