[实用新型]太阳能电池片生产及检测系统有效
| 申请号： | 201620843406.0 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN205965417U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张磊;薛宝林;唐彩荣;张京枝;张小平 | 申请（专利权）人： | 奔亚科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D53/78;B01D53/40;B01D53/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能电池片生产及检测系统，包括依次相连的清洗系统、制绒系统、碱洗系统、酸洗系统、磷扩散系统、周边刻蚀系统、去PSG系统、等离子化学气相沉积系统、烧结系统和检测系统，所述制绒系统、去PSG系统和烧结系统连接有机废气净化装置，所述磷扩散系统和周边刻蚀系统均连接酸性废气净化装置，所述等离子化学气相沉积系统连接碱性废气净化装置，所述有机废气净化装置、酸性废气净化装置和碱性废气净化装置的出气口处均设有气体检测装置；本生产系统结构合理，对生产中产生的各类废气设计了相应的处理措施，净化后的外排废气可满足国家相关排放标准要求；且检测装置的设置可有效检测太阳能电池片的缺陷，保证了太阳能电池片的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 生产 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池片生产及检测系统，其特征在于：包括依次相连的清洗系统、制绒系统、碱洗系统、酸洗系统、磷扩散系统、周边刻蚀系统、去 PSG系统、等离子化学气相沉积系统、烧结系统和检测系统，所述制绒系统、去 PSG系统和烧结系统连接有机废气净化装置，所述磷扩散系统和周边刻蚀系统均连接酸性废气净化装置，所述等离子化学气相沉积系统连接碱性废气净化装置，所述有机废气净化装置、酸性废气净化装置和碱性废气净化装置的出气口处均设有气体检测装置。
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