[实用新型]一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统有效
申请号: | 201620806060.7 | 申请日: | 2016-07-28 |
公开(公告)号: | CN205817077U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 邵华江;李思佳;李思泉 | 申请(专利权)人: | 上海嘉强自动化技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙)11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 201611 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,包括两片二分束棱镜、两片扫描振镜和消像差聚焦镜组,两片二分束棱镜中心轴同轴,两片振镜与消像差聚焦镜组构成基本的振镜扫描光学系统,在轴对称平行或近平行光束入射下,依次经过两片分束棱镜分束、两片扫描振镜偏向及消像差聚焦镜组聚焦,通过改变两片二分束棱镜棱间夹角,旋转两片扫描振镜转轴,能够实现焦平面上一定范围内任意单焦点、间距与方向可变双焦点、单焦点扫描图形、间距与方向可变双焦点扫描图形等多种功能的激光振镜加工。本实用新型结构设计新颖,实现了一种具备多种激光加工功能的光学振镜系统,极大程度提高了激光加工质量与加工效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 二分 棱镜 扫描 组合 光学系统 | ||
【主权项】:
一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于:包括第一二分束棱镜、第二二分束棱镜、第一扫描振镜、第二扫描振镜和消像差聚焦镜组,所述第一二分束棱镜、所述第二二分束棱镜中心轴同轴,所述第一扫描振镜、第二扫描振镜和消像差聚焦镜组构成振镜扫描光学系统。
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