[实用新型]一种三自由度平面柔性并联平台装置

摘要

本实用新型公开了一种三自由度平面柔性并联平台装置，包括三个并联分支、动平台及静平台，每个并联分支包括电机、一根主动杆及一根从动杆，所述主动杆上贴有一维加速度传感器，从动杆上粘贴压电陶瓷片传感器，所述动平台安装三维加速度传感器，所述从动杆的两端贴有第一及第二压电陶瓷片驱动器；电机驱动主动杆，对应的一维及三维加速度传感器，以及从动杆上的压电陶瓷片传感器同时检测振动，均输出微弱的电荷量，经过电荷放大器接入到数据采集卡，通过算法将控制量施加在从动杆上的压电陶瓷片驱动器上，实现对并联平台残余振动主动控制的目的。具有测量精度高和闭环控制响应快的优点。

主权项

一种三自由度平面柔性并联平台装置，其特征在于，包括三个并联分支、动平台及静平台，所述三个并联分支的结构相同，均包括电机、一根主动杆及一根从动杆，三个电机分别安装在静平台的三个角，电机轴端连接主动杆的一端，主动杆的另一端通过转轴连接从动杆的一端，从动杆的另一端通过转轴连接动平台，所述动平台是等边三角形，三个从动杆分别连接在动平台的三个角上；所述主动杆上贴有一维加速度传感器，从动杆上粘贴压电陶瓷片传感器，所述动平台安装三维加速度传感器，所述从动杆的两端贴有第一及第二压电陶瓷片驱动器；还包括电荷放大器、A/D转换器、数据采集卡、压电驱动电源、D/A转换器、驱动器、扩展卡、运动控制卡及计算机；所述一维加速度传感器、压电陶瓷片传感器及三维加速度传感器检测的振动电信号经过电荷放大器及A/D转换器输入到数据采集卡，所述数据采集卡与计算机相互连接；所述计算机获得控制信号后通过D/A转换器及压电驱动电源驱动第一及第二压电陶瓷片驱动器；所述计算机、运动控制卡、扩展卡及驱动器依次连接，所述驱动器与电机连接。