[实用新型]电动百叶阀装置有效
| 申请号： | 201620786034.2 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN205877220U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | F16K1/22 | 分类号： | F16K1/22;F16K1/36;F16K31/04;F16K1/32 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电动百叶阀装置，其用于真空镀膜装置的真空通道中，所述电动百叶阀装置包括：联动杆、电机、限位组件以及多个叶片；所述多个叶片相互平行，多个叶片依次排布于所述真空通道中，所述多个叶片间隔地活动安装于所述联动杆上，且多个叶片可在所述联动杆的带动下进行同步运动，所述电机与所述多个叶片进行传动连接，所述限位组件安装于所述多个叶片的一侧，以控制所述多个叶片的开闭的角度范围。本实用新型的电动百叶阀装置利用多个片叶将真空通道均匀分层，且通过多个叶片的联动，来控制不同高度的气体流速一致，从而实现产品镀膜的膜厚保持一致。 | ||
| 搜索关键词： | 电动 百叶 装置 | ||
【主权项】：
一种电动百叶阀装置，其用于真空镀膜装置的真空通道中，其特征在于，所述电动百叶阀装置包括：联动杆、电机、限位组件以及多个叶片；所述多个叶片相互平行，多个叶片依次排布于所述真空通道中，所述多个叶片间隔地活动安装于所述联动杆上，且多个叶片可在所述联动杆的带动下进行同步运动，所述电机与所述多个叶片进行传动连接，所述限位组件安装于所述多个叶片的一侧，以控制所述多个叶片的开闭的角度范围。
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