[实用新型]一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置

摘要

本实用新型提供了一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置。该装置包括喷枪、气泵、控制器、容器和加热板。喷枪竖直放置，其上部为枪身，下端为喷嘴；气泵通过导气管与喷枪的枪身相连接，用于向喷枪枪身内提供高压工作气体；在导气管上设有气阀开关；控制器用于控制气阀开关的闭合和断开，从而控制气泵向喷枪枪身内提供高压工作气体；容器用于盛放前驱液；加热板用于对其上的基底进行加热；在高压工作气体的作用下，容器内的前驱液可通过导液管进入喷枪的枪身内并雾化，最终由喷嘴喷出喷涂在高温基底上。本实用新型只需将各参数设置好，就可自动运行，自行停止，方便高效易操作，且可制备大面积的、厚度可控、均匀致密的薄膜。

主权项

一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置，其特征是，包括：喷枪，竖直放置，其上部为枪身，下端为喷嘴；气泵，通过导气管与所述喷枪的枪身相连接，用于向所述喷枪的枪身内提供高压工作气体；在所述导气管上设有气阀开关；控制器，与导气管上的气阀开关相接，用于控制所述气阀开关的闭合和断开，从而控制气泵向喷枪枪身内提供高压工作气体；容器，用于盛放待制备薄膜的前驱液，所述容器通过导液管与所述喷枪的枪身相连接；在高压工作气体的作用下，容器内的前驱液可通过导液管进入喷枪的枪身内并雾化，最终由喷嘴喷出；以及加热板，设置在所述喷枪的下方；在所述加热板上设置有基底，所述加热板用于对其上的基底进行加热；由所述喷枪的喷嘴喷洒出的前驱液以雾的形式喷涂在基底上，多次喷涂即可在基底上制备出所需薄膜。