[实用新型]一种烘干烧结炉有效
| 申请号： | 201620725795.7 | 申请日： | 2016-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN205900569U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 苏金财;冼志军;王军涛 | 申请（专利权）人： | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/20;F27D17/00 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所44332 | 代理人： | 曾秋梅 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种烘干烧结炉，包括输送台，输送台的上平面设有输送带，输送带由单个马达控制两个棍轮带动运输，输送台由进料端至出料端依次设有硅片预热区、废气物燃烧区、烧结区和硅片冷却区，硅片预热区内间隔设有多个烘干预热炉，多个烘干预热炉的温度逐渐上升，废气物燃烧区内设有燃烧塔，烧结区内间隔设有多个密封的、并可以独立控制温度的烧结炉，每个烧结炉的温度均相同，硅片冷却区内间隔设有多个吹风装置和多个吸风装置，输送台的前侧或后侧设有控制装置。本实用新型结构简单、可以确保每个烧结的温区温度平衡，并将有害的废气物充分燃烧等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘干 烧结炉 | ||
【主权项】：
一种烘干烧结炉，包括输送台，其特征在于，所述输送台的上平面设有输送带，所述输送带由单个马达控制两个棍轮带动运输，所述输送台由进料端至出料端依次设有硅片预热区、废气物燃烧区、烧结区和硅片冷却区，所述硅片预热区内间隔设有多个烘干预热炉，多个所述烘干预热炉的温度逐渐上升，所述废气物燃烧区内设有燃烧塔，所述烧结区内间隔设有多个密封的、并可以独立控制温度的烧结炉，多个烧结炉的温度逐渐升高，所述硅片冷却区内间隔设有多个吹风装置和多个吸风装置，所述输送台的前侧或后侧设有控制装置。
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