[实用新型]一种掩模清洁装置有效
| 申请号： | 201620684504.4 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205816330U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 孟春霞;张俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/04;B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩模清洁装置，包括氮气枪和氮气管，所述氮气管一端与外界氮气容器连接，另一端与氮气枪相连接，所述氮气枪放置在所述掩模上方且吹气口对着掩模表面，还包括吸气装置，所述吸气装置放置于掩模上方，且位置与所述氮气枪出气方向相对。所述吸气装置产生的吸力，可以缓解氮气气流对薄膜形成的强大压强，同时避免清洁时产生的颗粒二次污染，提高了清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模清洁装置，包括氮气枪和氮气管，所述氮气管一端与外界氮气容器连接，另一端与氮气枪相连接，所述氮气枪放置在所述掩模上方且吹气口对着掩模表面，其特征在于，还包括吸气装置，所述吸气装置放置于掩模上方，且位置与所述氮气枪出气方向相对。
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