[实用新型]真空腔室温度侦测系统有效
| 申请号： | 201620669047.1 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205785541U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 程志浩;吴梦琳 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;G01J5/34;G01J5/02 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空腔室温度侦测系统，用于检测真空腔室内的被测物体的温度，所述真空腔室温度侦测系统包括光学系统、探测器、信号处理电路和显示输出装置，所述真空腔室具有开口，所述光学系统设置在所述真空腔室的开口内，所述光学系统用于汇聚在所述真空腔室的视场内的被测物体的红外辐射能量，并把所述红外辐射能量传递给所述探测器；所述探测器用于将所述红外辐射能量转变为电压信号；所述信号处理电路用于接收探测器生成的电压信号并将其转变为所述被测物体的温度。真空腔室温度侦测系统，无需与被测物体直接接触便能准确地测定其的表面温度，使用方便，反应速度快，灵敏度高，测温范围广，可实现在线非接触连续测量。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 温度 侦测 系统 | ||
【主权项】：
一种真空腔室温度侦测系统，用于检测真空腔室(110)内的被测物体的温度，其特征在于，所述真空腔室温度侦测系统包括光学系统(120)、探测器(130)、信号处理电路(150)和显示输出装置(160)，所述真空腔室(110)具有开口(111)，所述光学系统(120)设置在所述真空腔室(110)的开口(111)内，所述光学系统(120)用于汇聚在所述真空腔室(110)的视场内的被测物体的红外辐射能量，并把所述红外辐射能量传递给所述探测器(130)；所述探测器(130)用于将所述红外辐射能量转变为电压信号；所述信号处理电路(150)用于接收探测器(130)生成的电压信号并将其转变为所述被测物体的温度。
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