[实用新型]一种伞式坩埚电离装置有效

专利信息
申请号: 201620651202.7 申请日: 2016-06-28
公开(公告)号: CN205907178U 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 范玉华;李卫涛;赵学东;范玉东;陈召强 申请(专利权)人: 宁晋昌隆电子材料制造有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 河北东尚律师事务所13124 代理人: 王文庆
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种伞式坩埚电离装置,其包括控制器、驱动电机、丝杠和支撑台,位于支撑台上设有用于导向的导向架,所述的驱动电机设置在导向架上,驱动电机与丝杠相连,丝杠竖直穿过导向架和支撑台,丝杠上的丝母设置在导向架内,位于导向架周边设有三个均匀分布的电离装置,每个电离装置都包括压杆、摆杆和电离棒,所述的压杆的一端与丝母相连,压杆的另一端与铰接在支撑台上摆杆相连,所述的电离棒固定在摆杆上,所述的驱动电机的信号收发端与控制器的信号输送端相连,三个电离棒与丝母之间通过两个摆杆连接,压杆作为主动杆,摆杆作为随动,利用翘杆原理实现张开或收缩动作,降低时间成本,提高设备安全性。
搜索关键词: 一种 坩埚 电离 装置
【主权项】:
一种伞式坩埚电离装置,其特征在于:包括控制器、驱动电机(1)、丝杠(9)和支撑台(3),位于支撑台(3)上设有用于导向的导向架(2),所述的驱动电机(1)设置在导向架(2)上,驱动电机与丝杠(9)相连,丝杠竖直穿过导向架和支撑台,丝杠上的丝母(10)设置在导向架内,位于导向架周边设有三个均匀分布的电离装置,每个电离装置都包括压杆(4)、摆杆(5)和电离棒(6),所述的压杆的一端与丝母相连,压杆的另一端与铰接在支撑台上摆杆相连,所述的电离棒固定在摆杆上,电离棒的延伸方向与摆杆的延伸方向相同,所述的驱动电机的信号收发端与控制器的信号输送端相连。
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