[实用新型]一种伞式坩埚电离装置有效
申请号: | 201620651202.7 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN205907178U | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 范玉华;李卫涛;赵学东;范玉东;陈召强 | 申请(专利权)人: | 宁晋昌隆电子材料制造有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种伞式坩埚电离装置,其包括控制器、驱动电机、丝杠和支撑台,位于支撑台上设有用于导向的导向架,所述的驱动电机设置在导向架上,驱动电机与丝杠相连,丝杠竖直穿过导向架和支撑台,丝杠上的丝母设置在导向架内,位于导向架周边设有三个均匀分布的电离装置,每个电离装置都包括压杆、摆杆和电离棒,所述的压杆的一端与丝母相连,压杆的另一端与铰接在支撑台上摆杆相连,所述的电离棒固定在摆杆上,所述的驱动电机的信号收发端与控制器的信号输送端相连,三个电离棒与丝母之间通过两个摆杆连接,压杆作为主动杆,摆杆作为随动,利用翘杆原理实现张开或收缩动作,降低时间成本,提高设备安全性。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 电离 装置 | ||
【主权项】:
一种伞式坩埚电离装置,其特征在于:包括控制器、驱动电机(1)、丝杠(9)和支撑台(3),位于支撑台(3)上设有用于导向的导向架(2),所述的驱动电机(1)设置在导向架(2)上,驱动电机与丝杠(9)相连,丝杠竖直穿过导向架和支撑台,丝杠上的丝母(10)设置在导向架内,位于导向架周边设有三个均匀分布的电离装置,每个电离装置都包括压杆(4)、摆杆(5)和电离棒(6),所述的压杆的一端与丝母相连,压杆的另一端与铰接在支撑台上摆杆相连,所述的电离棒固定在摆杆上,电离棒的延伸方向与摆杆的延伸方向相同,所述的驱动电机的信号收发端与控制器的信号输送端相连。
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