[实用新型]一种干刻机腔室装置有效
| 申请号： | 201620649899.4 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN205863131U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种干刻机腔室装置，对现有技术中的固定部件进行了改良，有效地解决了其易破损的问题，降低了清洗更换的破损风险，降低了生产成本。该干刻机腔室装置，包括支撑台、台板和固定部件，所述台板固定在所述支撑台顶部，所述支撑台顶部外侧边缘形成梯台，所述台板的侧壁与所述梯台的侧壁平齐，所述固定部件的侧壁设有凸部，所述凸部与所述梯台配合，所述凸部侧壁与所述台板和所述梯台的侧壁贴合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干刻机腔室 装置 | ||
【主权项】：
一种干刻机腔室装置，包括支撑台、台板和固定部件，所述台板固定在所述支撑台顶部，其特征在于，所述支撑台顶部外侧边缘形成梯台，所述台板的侧壁与所述梯台的侧壁平齐，所述固定部件的侧壁设有凸部，所述凸部与所述梯台配合，所述凸部侧壁与所述台板和所述梯台的侧壁贴合。
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