[实用新型]基板传送装置及系统

摘要

本实用新型涉及一种基板传送装置，用于传送基板。基板传送装置，包括两个传送导轨，传送导轨设置于基板的传送方向上，两个传送导轨相互平行，且两个传送导轨的间距能够调节；传送导轨包括固定轨和运动轨，运动轨与固定轨相适配，运动轨能够沿基板的传送方向相对固定轨往复运动，运动轨用于传送基板。上述基板传送装置，用两个平行的传送导轨传送基板，基板与传送导轨之间的接触面小，避免了基板与传送导轨之间的静电吸附情况，使基板能够顺利被传送至目的地，传送效果好。本实用新型还提供了一种基板传送系统，包括上述基板传送装置和接收小车。所述基板传送系统，使基板顺利由传送导轨传送至接收小车，传送基板的效果较好。

主权项

一种基板传送装置，用于传送基板，其特征在于，包括两个传送导轨，设置于所述基板的传送方向上，两个所述传送导轨相互平行，且两个所述传送导轨的间距能够调节；所述传送导轨包括固定轨和运动轨，所述运动轨与所述固定轨相适配，所述运动轨能够沿所述基板的传送方向相对所述固定轨往复运动，所述运动轨用于传送所述基板。