[实用新型]膜厚检测装置有效
申请号: | 201620618584.3 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN205748256U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 姜利 | 申请(专利权)人: | 威海华菱光电股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;李志刚 |
地址: | 264209 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种膜厚检测装置。该膜厚检测装置包括:公共电极;检测电极,检测电极的检测表面与公共电极的公共表面按照预设位置设置以形成待测膜在检测时的检测通道;信号处理电路,与检测电极相连接,用于消除检测电极的原始偏差信号。通过本实用新型,达到了提高膜厚检测装置的检测精度的效果。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种膜厚检测装置,其特征在于,包括:公共电极;检测电极,所述检测电极的检测表面与所述公共电极的公共表面按照预设位置设置以形成待测膜在检测时的检测通道;以及信号处理电路,与所述检测电极相连接,用于消除所述检测电极的原始偏差信号。
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