[实用新型]基材缺陷检测装置

摘要

本实用新型公开一种基材缺陷检测装置，用以检测一基材。基材缺陷检测装置包括一输送装置、一光源产生装置、一图像获取装置、一控制装置以及一集尘装置。输送装置包括第一和第二输送装置。光源产生装置包括一用于产生一照射在位于一第一检测区域内的基材上的第一检测光源的第一光源产生单元及一用于产生一照射在位于一第二检测区域内的基材上的第二检测光源的第二光源产生单元。图像获取装置包括一第一图像获取单元及一第二图像获取单元。第一图像获取单元用于获取位于第一检测区域内的一第一图像信息。第二图像获取单元用于获取位于第二检测区域内的一第二图像信息。借此，本实用新型所公开的基材缺陷检测装置能够改善基材表面缺陷辨识率。

主权项

一种基材缺陷检测装置，用以检测一基材的一第一表面及一相对于所述第一表面的第二表面，其特征在于，所述基材缺陷检测装置包括：一输送装置，所述输送装置包括：一第一输送单元，所述第一输送单元具有一第一承载面，其中所述基材设置于所述第一承载面上，所述基材通过所述第一输送单元以进行传送；以及一第二输送单元，所述第二输送单元与所述第一输送单元彼此相对应设置，其中所述第二输送单元具有一第二承载面，所述第一输送单元传送所述基材至所述第二输送单元的所述第二承载面上；一光源产生装置，所述光源产生装置包括：一第一光源产生单元，所述第一光源产生单元用于产生一照射在位于一第一检测区域内的所述基材上的第一检测光源；以及一第二光源产生单元，所述第二光源产生单元用于产生一照射在位于一第二检测区域内的所述基材上的第二检测光源，其中所述第二检测区域位于所述第一输送单元及所述第二输送单元之间；一图像获取装置，所述图像获取装置与所述光源产生装置相对应设置，所述图像获取装置包括：一第一图像获取单元，所述第一图像获取单元与所述第一光源产生单元彼此相对应设置，所述第一图像获取单元用于获取位于所述第一检测区域内的所述基材的一第一图像信息；以及一第二图像获取单元，所述第二图像获取单元与所述第二光源产生单元彼此相对应设置，所述第二图像获取单元用于获取位于所述第二检测区域内的所述基材的一第二图像信息；一控制装置，所述控制装置电性连接于所述第一图像获取单元及所述第二图像获取单元，以接收所述第一图像获取单元所获取到的所述第一图像信息及所述第二图像获取单元所获取到的所述第二图像信息；以及一集尘装置，所述集尘装置邻近地设置于所述第一输送单元的侧边；其中，所述第一图像信息及所述第二图像信息通过所述控制装置的运算，以得到位于所述基材上的一第一瑕疵区域的一第一瑕疵信息及一第二瑕疵区域的一第二瑕疵信息。