[实用新型]一种减轻顶部保温材料受腐蚀的热场结构有效
申请号: | 201620576078.2 | 申请日: | 2016-06-14 |
公开(公告)号: | CN205711037U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 郑清超;高宇;杨坤 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人: | 郝学江 |
地址: | 071051 河北省保定市北*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种减轻顶部保温材料受腐蚀的热场结构,包括坩埚、护板、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层;发热体位于坩埚外周、包围住坩埚的侧面和底面;顶保温层位于坩埚上方,护板位于顶保温层表面;侧保温层和底保温层分别位于发热体外围和底部。本实用新的有益效果是:避免SiC蒸汽在保温材料内部沉积和腐蚀,从而保证在晶体生长全过程中,顶部保温材料维持恒定的保温效果,从而保证晶体生长的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 减轻 顶部 保温材料 腐蚀 结构 | ||
【主权项】:
一种减轻顶部保温材料受腐蚀的热场结构,其特征在于:包括坩埚、护板、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层;所述的发热体位于坩埚外周、包围住坩埚的侧面和底面;所述的顶保温层位于坩埚上方,所述的护板位于顶保温层下方,并覆盖顶保温层下表面;所述的侧保温层和底保温层分别位于发热体外围和底部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北同光晶体有限公司,未经河北同光晶体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620576078.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。