[实用新型]小炉盖升降旋转机构有效
申请号: | 201620568410.0 | 申请日: | 2016-06-14 |
公开(公告)号: | CN205711046U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 郑清超;赵玉梅;杨坤;高宇 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00 |
代理公司: | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人: | 郝学江 |
地址: | 071051 河北省保定市北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种小炉盖升降旋转机构,包括炉台、上炉室、小炉盖、托架、观察窗、锁紧螺母、旋转托盘、支撑轴、直线轴承和气缸,炉台上分别设置有上炉室、气缸和支撑轴,上炉室上设置有小炉盖,小炉盖正上方中心位置设有观察窗;气缸移动端板上固定设置有旋转托盘,旋转托盘上表面通过锁紧螺母与托架一端固定连接,托架另一端与小炉盖上表面固定连接;旋转托盘下表面通过气缸的移动端板与支撑轴相连;支撑轴设置有直线轴承。本实用新型的有益效果是:拆装热场方便,保证炉体的真空密封性,提升小炉盖并旋转至相应位置,便于后续工序操作。 | ||
搜索关键词: | 小炉盖 升降 旋转 机构 | ||
【主权项】:
一种小炉盖升降旋转机构,其特征在于:包括炉台、上炉室、小炉盖、托架、观察窗、锁紧螺母、旋转托盘、支撑轴、直线轴承和气缸,所述的炉台上分别设置有上炉室、气缸和支撑轴,所述的上炉室上设置有小炉盖,所述的小炉盖正上方中心位置设有观察窗;所述的气缸移动端板上固定设置有旋转托盘,所述的旋转托盘上表面通过锁紧螺母与托架一端固定连接,所述的托架另一端与小炉盖上表面固定连接;所述的旋转托盘下表面通过气缸的移动端板与支撑轴相连;所述的支撑轴设置有直线轴承。
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