[实用新型]一种可以快速排除废液的高温扩散设备

摘要

本实用新型公开了一种可以快速排除废液的高温扩散设备，包括高温扩散箱，所述高温扩散箱顶部固定设有冷气道，所述冷气道上端从左到右依次固定设有通气孔、冷却室和第一鼓风机，所述高温扩散箱侧面固定连通有集水管，所述集水管底部固定连通有储水槽，所述高温扩散箱内部固定设有硅片放置槽，所述高温扩散箱底部固定设有热气道，所述热气道上固定设有第二鼓风机。本实用新型设计合理，通过一系列的结构，可以实现对高温扩散箱中的废液进行快速地排出并且收集，防止废液对硅片产生的不利影响，同时可以防止热气流对硅片高温扩散产生的不利影响，从而提高了产品的品质，有很强的实用性。

主权项

一种可以快速排除废液的高温扩散设备，包括高温扩散箱（7），其特征在于：所述高温扩散箱（7）顶部固定设有冷气道（4），所述冷气道（4）穿过高温扩散箱（7）在高温扩散箱（7）上方形成回路，所述冷气道（4）上端从左到右依次固定设有通气孔（1）、冷却室（2）和第一鼓风机（3），所述高温扩散箱（7）侧面固定连通有集水管（5），所述集水管（5）底部固定连通有储水槽（6），所述高温扩散箱（7）内部固定设有硅片放置槽（8），所述高温扩散箱（7）底部固定设有热气道（10），所述热气道（10）上设有出气孔（9），所述热气道（10）穿过高温扩散箱（7）的右侧连接于第二鼓风机（11）。