[实用新型]反射镜固定装置有效
申请号: | 201620518899.0 | 申请日: | 2016-05-31 |
公开(公告)号: | CN205787318U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 程海林;袁伟杰 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种反射镜固定装置,包括反射镜支座(109)、固定板(101)、连接螺钉(110)、透镜预紧装置(100),所述透镜预紧装置(100)包括球形联接座(108),与所述球形联接座(108)球铰连接有球头轴(102),所述球头轴(102)套接有压缩弹簧(104),所述球头轴(102)的外圆周滑动连接有螺柱(105),所述螺柱(105)与所述固定板(101)螺纹连接,所述球头轴(102)的止推端通过卡环(103)与所述螺柱(105)固定连接;所述球形联接座(108)的底面连接有缓冲垫(107)。本实用新型提供的反射镜固定装置,能够提高反射镜固定安装的精度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 反射 固定 装置 | ||
【主权项】:
一种反射镜固定装置,包括反射镜支座(109)、固定板(101)、连接螺钉(110)、透镜预紧装置(100),其特征在于,所述透镜预紧装置(100)包括球形联接座(108),与所述球形联接座(108)球铰连接有球头轴(102),所述球头轴(102)套接有压缩弹簧(104),所述球头轴(102)的外圆周滑动连接有螺柱(105),所述螺柱(105)与所述固定板(101)螺纹连接,所述球头轴(102)的止推端通过卡环(103)与所述螺柱(105)固定连接;所述球形联接座(108)的底面连接有缓冲垫(107)。
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