[实用新型]喷流型电镀槽有效
申请号: | 201620497363.5 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205774865U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 崔纪涛 | 申请(专利权)人: | 昆山沪利微电有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人: | 母秋松;董建林 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体、喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。本实用新型提供的喷流型电镀槽,利用槽体两端设置的喷流装置,可以充分的对两组喷流装置中间设置的面板进行药液喷流;另外,垂直喷杆与喷头的结构,可保证面板电镀均匀,镀铜纯度高,提高盲孔,钻孔的电镀质量。 | ||
搜索关键词: | 喷流 电镀 | ||
【主权项】:
一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体,其特征在于:还包括:喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。
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