[实用新型]更换型限流孔板有效
| 申请号： | 201620459238.5 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN206274282U | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 谢晶 | 申请（专利权）人： | 北京中凯威科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种更换型限流孔板。其结构孔板法兰、限流小孔、连接结构、密封结构组成；本实用新型所述的更换型限流孔板既满足了真空校准装置对限流小孔的需求，又实现了不同校准需求下快速更换的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 换型 限流 | ||
【主权项】：
一种更换型限流孔板，其特征在于，所述更换型限流孔板设置于真空校准系统中的校准室和下游室之间，所述更换型限流孔板包括：设置有限流小孔(6)的孔板法兰(3)；连接结构(7)，所述孔板法兰(3)通过所述连接结构(7)与校准室法兰(2)可拆卸地连接，并通过所述连接结构(7)与下游室法兰(4)可拆卸地连接；密封结构(8)，分别与所述校准室法兰(2)、所述下游室法兰(4)和所述连接结构(7)连接，用于将所述连接结构(7)和所述校准室法兰(2)、以及所述连接结构(7)和所述下游室法兰(4)进行密封，使所述限流小孔(6)的上、下面分别位于所述校准室和所述下游室的球面上，所述密封结构(8)包括CF金属密封法兰、橡胶圈密封法兰或KF快速法兰。
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