[实用新型]一种光学系统立式装检装置有效
申请号: | 201620443723.3 | 申请日: | 2016-05-16 |
公开(公告)号: | CN205748297U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 康晓鹏;付兴;李华;王鹏;刘军鹏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 杨引雪 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光学系统立式装检装置,属于精密光学应用技术领域,该装检装置包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架;调整转台用于放置被装检零件,3个调整支架安装在一固定安装架上,自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架;3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨,所述竖向导轨与固定安装架固连,横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动;本实用新型能够避免由于重力原因引起的面形问题,装检光路可自由组合调节,可满足不同光学系统的检测需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学系统 立式 装置 | ||
【主权项】:
一种光学系统立式装检装置,其特征在于:包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架;调整转台用于放置被装检零件,3个调整支架安装在一固定安装架上,自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架;3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨,所述竖向导轨与固定安装架固连,横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动;所述补偿镜调整支架还包括补偿镜;所述补偿镜设置在横向导轨上,能够沿横向导轨左右滑动;所述干涉仪调整支架还包括激光干涉仪;所述激光干涉仪设置在横向导轨上,能够沿横向导轨左右滑动;所述自准平面镜调整支架还包括自准平面镜;所述自准平面镜设置在横向导轨上,能够沿横向导轨左右滑动。
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