[实用新型]基于双波长干涉的微表面形貌测量装置

摘要

基于双波长干涉的微表面形貌测量装置，涉及光干涉测量领域。它是为了解决传统单光源相移控制法测量元件微表面形貌的测量范围小，且由于一般都是通过机械系统如压电陶瓷PZT来产生相移导致系统不稳定、效率低等问题。本实用新型包括一号光源、二号光源、一号反射镜、一号分光镜、针孔滤波器、一号透镜、二号分光镜、待测光学元件、显微物镜、二号透镜、二号反射镜、三号反射镜、三号透镜、移相控制装置、四号透镜、三号分光镜、五号透镜、探测装置、数据采集装置。其中，探测装置需与数据采集装置相连，利用数据采集装置显示探测装置拍摄的干涉图样，可得到待测光学元件的微表面形貌。本实用新型适用于精密光学干涉测量领域。

主权项

基于双波长干涉的微表面形貌测量装置，其特征在于：它包括一号光源（1）、二号光源（2）、一号反射镜（3）、一号分光镜（4）、针孔滤波器（5）、一号透镜（6）、二号分光镜（7）、待测光学元件（8）、显微物镜（9）、二号透镜（10）、二号反射镜（11）、三号反射镜（12）、三号透镜（13）、移相控制装置（14）、四号透镜（15）、三号分光镜（16）、五号透镜（17）、探测装置（18）、数据采集装置（19）；一号反射镜（3）放置于与一号光源（1）相距300mm且与一号分光镜（4）相距200mm且三者之间位置正交，二号光源（2）与一号分光镜（4）相距300mm且位置与一号光源（1）平行，针孔滤波器（5）与一号分光镜（4）相距200mm且与一号透镜（6）相距200mm，二号分光镜（7）与一号透镜（6）相距200mm且与待测光学元件（8）相距200mm且与三号反射镜（12）相距750mm且三者之间位置正交，待测光学元件（8）与显微物镜（9）相距200mm，显微物镜（9）与二号透镜（10）相距200mm，二号透镜（10）与二号反射镜（11）相距150mm,二号反射镜(11)与二号分光镜（7）相距750mm且与三号透镜（13）相距200mm，移相控制装置（14）放置于三号透镜(13)和四号透镜（15）之间并与三号透镜(13)和四号透镜分别相距150mm和200mm，三号分光镜（16）与四号透镜（15）相距200mm且与二号反射镜（11）相距750mm且与五号透镜相距200mm且三者之间位置正交，探测装置（18）与五号透镜（17）相距50mm并且与数据采集装置（19）相连。