[实用新型]一种无损伤检测PSS的装置

摘要

本实用新型公开一种无损伤检测PSS的装置，属于PSS制程检测领域，包括机架、分别安装在机架上的样品盒和暗室、及设置在机架外侧的图像输出装置；暗室内设有承载台、第二驱动装置、平行光源发生器、与平行光源发生器连接的调焦装置、及设置在暗室内壁上的光学收集器，样品盒和暗室间设有第一驱动装置，第一驱动装置上设有样品传动装置，第一驱动装置包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，上下驱动机构用于将样品盒内不同高度样品取出，水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置将样品送至暗室内承载台上。该装置在不破坏样本的前提下，方便、准确的获取样本信息，具有成本低、反应迅速，能全面监控生产的优点，适用于生产管控。

主权项

一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，包括机架(1)、分别安装在机架(1)上的样品盒(2)和暗室(10)、及设置在机架(1)外侧的图像输出装置(8)；所述暗室(10)内设有承载台(5)、第二驱动装置(9)、设置在第二驱动装置(9)上的平行光源发生器(6)、与平行光源发生器(6)连接的调焦装置(7)、及设置在暗室内壁上的光学收集器(11)，所述第二驱动装置(9)驱动平行光源发生器(6)水平移动，所述调焦装置(7)调节平行光源发生器(6)产生平行光束聚焦，所述光学收集器(11)收集PSS样品反射光束，并将反射光束信息传递到图像输出装置(8)，所述图像输出装置(8)接收反射光束信息并转变成图像信息输出；所述样品盒(2)和暗室(10)间设有第一驱动装置(3)，所述第一驱动装置(3)上设有样品传动装置(4)，所述第一驱动装置(3)包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，所述上下驱动机构用于将样品盒(2)内不同高度样品取出，所述水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置(4)将样品送至暗室(10)内承载台(5)上。